晶体生长
发布时间:2020-05-25来源:洛阳赛乐电子科技有限公司点击:2047
感应加热广泛应用于晶体生长领域,硅区熔提纯,区熔硅芯,所用感应加热仍为电子管式高频电源,其频率多为2-3MHz,功率几十***百kW。目前固态电源技术由于器件***,仍无法替代传统电子管式感应加热。
IGBT电源多用于碳化硅,蓝宝石,硅连铸的生产。对电源的输出稳定性要求极高,不控整流移相调功由于受到电网电压波动影响,采用恒流模式调功会导致直流功率波动,温度变化。即便是采用恒功率模式,逆变回路功率因数仍会随着电网电压波动,造成温度、温场变化,***终产品出现瑕疵或不合格。目前高精度的晶体生长电源会采用直流斩波电源消除这种影响。
由于晶体生长受热场,加热结构,生长工艺等多重因素影响。我们的电源具备晶体生长应用的功能及性能,但不作为主要市场方向。
全数字化,高精度斩波结构
加热坩埚,或材料引红后加热。
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